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国内射频电源行业技术水平现状

未知 2019-07-06 11:40

  目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源基本一致,但在自动化程度上,体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此,要跟上国际水平,还要开展以下一些工作。

  1、现在国内的射频电源采用的都是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较天,在一些要考虑体积的地方,限制了它的应用。因而需要采用新技术、新元器件,使射频电源固态化,小型化。

  2、阻抗匹配网络是正确使用好射频电源的重要部件。在国外,阻抗自动匹配网络已产品化,除了部分溅射、淀积设备照旧使用外,其它等离子体设备,尤其是RIE都已配备上自动的阻抗匹配网络,从而使设备更趋于完善。在国内这方面还是手动的,虽然在一般情况下可以满足工艺要求,但操作时不能离人,稍不注意仍会匹配不好。用自动取代手动匹配也是当务之急的工作。

  3、开扩射频电源的应用领域,研制多性能、多品种的射频电源,如宽频带电源、微波电源等。为电源的发展开创新的道路。

  4、为了较快地赶上国际水平,引进国外的先进技术,根据我国的实际情况,对电源进行改造、更新是发展电源的最快途径。

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